本报记者 李玉成
丁蓉 实习记者
近日有消息称，上海微电子正致力于研发28nm浸没式光刻机，预计2023年底向市场交付首台国产SSA/800-10W光刻机。此前，国家知识产权局办公室公布了华为新专利“反射镜、光刻装置及其控制方法”，该专利在极紫外光刻机的核心技术上取得了突破。
半导体产业是世界主要国家的战略高地。 美国、荷兰、日本相继对光刻机等半导体制造设备实施出口限制。 我国将从8月1日起对镓、锗相关物项实施出口管制。要想避免“卡壳”，在关键环节实现自控是必由之路。 光刻机的“卡脖子”问题出在哪里？ 我国企业取得了哪些进展？ 国产量子芯片领域能否把握发展机遇？ 《证券日报》记者近日对部分上市公司进行了调查，采访了多位学术界和业界专家。
业内人士普遍表示，中国企业正在加速核心领域自主研发，光刻机产业链上下游新进展、新成果不断涌现，国产化正在加速。 “中国芯”正在崛起。
光刻机领域不断突破
光刻机又称掩模对位曝光机，被称为“半导体行业皇冠上的宝石”。 它是半导体产业链中最精密的设备，是制造芯片的核心设备。 光刻机技术有多难？ 业内有一个形象的比喻。 用光在晶圆上画图，相当于两架客机并排行驶，一架飞机的机翼上挂着一把刀，另一架飞机上粘着一粒米，用刀在飞机上刻字。米粒。
目前，全球能够生产光刻机的厂商很少，荷兰的ASML、日本的尼康和佳能占据主要市场。 其中，ASML技术最为先进，是唯一能够生产极紫外光刻机的厂商，可以实现7nm甚至5nm工艺。 ASML第一大股东为美国资本国际集团，第二大股东为美国黑岩集团。
中国在光刻机技术方面一度站在世界“第一方阵”。 1965年研制出65型接触式光刻机。 1985年，它开发出了步进式光刻机的原型机。 当时与国外先进水平相差不远。 已经过去7年多了，但从那时起，我国就开始从国外采购光刻机。 20世纪90年代以来，ASML等国外企业迅速崛起。
眼下，我国光刻机产业处处“卡壳”。 接受本报记者调查的企业表示，“卡脖子”主要有两个难点：一是光源，光刻机需要系统小、功率大、光源稳定；二是光源。 另一个是透镜，为了让光线能够准确地照射到硅片上雕刻出的微小图案，需要一系列高精度、高光滑度的透镜来聚焦和准直光线。
上海微电子副董事长何荣明在接受采访时表示：“2002年，中国专家出国考察时，另一位工程师说，即使给你所有图纸，也不一定能做出光刻机。” ”。 回国后，何荣明带领团队日夜攻关，研发团队历时5年终于在曝光关键环节取得重大突破，并持续突破。 目前，上海微电子已经能够量产分辨率90纳米的系列光刻机，分辨率28纳米的光刻机也有望取得突破。
国产化率日益提高
何荣明领导的上海微电子只是中国企业在光刻机自主可控进程中所做努力的一个缩影。 近年来，多家A股上市公司进入全球光刻机产业链各个环节，包括光刻机光源系统厂商富晶科技、物镜系统厂商奥普光电、镀膜开发商厂商芯源微、富创等。精密、光罩厂家庆亿光电、华润微，缺陷检测厂家晶策电子，光刻胶厂家南大光电、荣达光敏，光刻气体厂家雅科科技、沃尔特气体等。
其中，富创精密是ASML的供应商之一，是全球为数不多的能够量产7nm工艺所用半导体设备的精密零部件制造商之一。 对于国产化问题，富创精密表示：“公司将在现有产品的基础上，逐步实现半导体设备精密零部件的国产化。”
华特气体表示：“公司产品已批量供应14nm、7nm等生产线，部分氟碳产品和氢化物已进入5nm先进工艺技术。”
中微公司将行业的快速发展归功于资本市场的助力。 中国微电子董事会秘书刘晓宇表示：“资本市场不仅解决了企业的资金需求，还带来了广泛的社会资源和产业链上下游资源，形成了企业的协同效应。产业链”。
在产业链上下游企业的共同努力下，光刻机的国产化率日益提高。
浙商证券研报称，目前我国清洗、热处理、脱胶设备国产化率分别达到34%、40%、90%； 镀膜开发、蚀刻、真空镀膜国产化率达到10%~30%； 原子层沉积、光刻、测量检测、离子注入等领域的国产化率暂时低于5%。
正如工银投行研究中心信息技术行业首席分析师徐源所言，全球半导体行业的碎片化趋势正在显现。 对于我国半导体产业来说，国产替代已经成为未来发展的长期逻辑。 随着国内半导体制造和封测能力的不断扩大，将为国内设备制造商提供更多验证和引进的机会，带动国内产业在技术和市场上的突破。
有望利用量子技术变道超车
除了上述各领域的创新，中国在量子科学领域跻身世界“第一方阵”，被誉为新一轮科技革命的战略制高点。 量子计算机对复杂数据的计算能力大大超越传统计算机的极限生活网消息，为“中国芯”变道超车提供了技术支撑。
目前，华为的超导量子芯片专利技术大幅提升了量子芯片的良率，已超越英特尔； 元元量子研制出我国第一台自主研发的超导量子计算机元元五元。
中天汇富投资控股集团董事长、源量子创投合伙人黄刚告诉《证券日报》记者：“公司从诞生之日起，就以实现自主控制为根本目标。我国拥有巨大的应用场景，有欣欣向荣的产业生态，为量子技术的发展提供了肥沃的土壤。
无论是科技突破还是变道超车，都离不开国家政策的保驾护航。 国家“十四五”规划和2035年远景目标纲要提出加强原创性、领先性科技研究。
“近年来，我国在科技创新诸多关键领域取得了令人瞩目的成绩，一些企业脱颖而出，进军国际市场参与全球竞争，这与我国的高度重视和引进是分不开的。”资源支持的产业政策。” 中央财经大学数字经济融合创新发展中心主任陈端告诉《证券日报》记者。
中国半导体行业协会副理事长余协康也对记者表示：“虽然我国半导体产业面临技术等各种挑战，但快速增长的国内市场规模也为产业升级优化提供了重要机遇。”
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